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常见的低温等离子体的产生方式

【来源:】 2015.02.02

常见的低温等离子体产生方式有以下几大类:

(1)辉光放电:低压气体中显示辉光的气体放电现象,即是稀薄气体中的自持放电(自激导电)现象。其特点如下:

①低气压下进行,需要真空条件;

②难以连续生产,生产效率低;

③能耗大、成本高。

(2)电晕放电:在曲率半径很小的尖端电极附近,由于局部电场强度超过气体的电离场强,使气体发生电离和激发。其特点如下:

①等离子体活性空间小,仅限于电晕极附近;

②在略高的外加电压下极易击穿形成火花放电。

(3)介质阻挡放电:有绝缘介质插入放电空间的一种非平衡态气体放电。其特点如下:

①产生的等离子体密度大;

②电介质在放电过程中起到储能作用,使放电稳定;

③能抑制火花放电的产生;

④保护高压电极不受气体的腐蚀。

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