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常见的低温等离子体的产生方式

【来源：】 2015.02.05

常见的低温等离子体产生方式有以下几大类：

1）电子束照射法：利用电子枪产生的高能电子束使气体电离，形成低温等离子体。

特点：

（1）产生的射线对人体健康有危害；

（2）产生的臭氧对装置有腐蚀作用；

（3）能耗较大；

（4）设备结构复杂，电子枪价格昂贵，电子枪及靶窗的寿命短。

2）电晕放电：在曲率半径很小的尖端电极附近，由于局部电场强度超过气体的电离场强，使气体发生电离和激发。

特点：

（1）等离子体活性空间小，仅限于电晕极附近；

（2）在略高的外加电压下极易击穿形成火花放电。

3）介质阻挡放电

特点：

（1）产生的等离子体密度大；

（2）电介质在放电过程中起到储能作用，使放电稳定；

（3）能抑制火花放电的产生；

（4）保护高压电极不受气体的腐蚀。

低温等离子协同催化吸附有机废气治理技术常见的低温等离子体的产生方式