【来源：】 2016.02.01
低温等离子体是气体在当外条件（微观粒子撞击、电场）作用下，气体发生电离，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子（离子、原子、分子）温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体技术是通过产生高能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后引发了进一步的化学反应，使复杂污染物转变为简单小分子物质，使有毒有害物质转变为无毒无害或低毒低害物质（如二氧化碳和水），从而使污染物得以降解去除。其降解过程如下：
低温等离子体治理有机污染物的原理示意图
过程一：高能电子直接轰击
过程二：产生氧原子、臭氧、羟基自由基及小分子碎片
O2+2e→2O·
O2+O·→O3 +e
H2O+2e→H·+HO·
H2O+O·+e→2HO·
H·+O2→HO·+O
C(a+b)H(m+n)O(x+y) +2e→CaHmOx·+CbHnOy·
过程三：分子碎片氧化
CaHmOx+HO·→CO2 + H2O
CaHmOx+O·→CO2 + H2O
CaHmOx+O2→CO2 + H2O
CaHmOx+O3→CO2 + H2O
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